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半自动匀胶机

简要描述:全新外观设计,适配实验室实验操作
半导体显影机
*进的设计理念,模块化设计
可快速拆卸和替换原有功能模块,操作便捷
支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗等功能模块个性化定制
可实现不同功能模块的自由组合定制
配载精密的运动控制系统,提高实验精度及重复性

  • 产品型号:AC200-CTM
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新日期:2024-05-20
  • 访  问  量:2126

产品特点

全新外观设计,适配实验室实验操作

*进的设计理念,模块化设计

可快速拆卸和替换原有功能模块,操作便捷

支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗等功能模块个性化定制

可实现不同功能模块的自由组合定制

配载精密的运动控制系统,提高实验精度及重复性


产品参数

转速范围:20-10000rpm

转速分辨率:±1rpm

加速度可调范围:20-50000rpm/s

单步时长:3000s

时间分辨率:0.1s

适用基片尺寸:4/6/8寸标准晶圆,非标准基片可定制载物盘

显影喷嘴距离基片高度可调,可调范围10-50mm

可添加背洗功能(根据客户需求而定)




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