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全自动离子溅射仪的使用说明,就差你不知道了

  • 更新日期:2024-02-20      浏览次数:439
    •   全自动离子溅射仪是一种紧凑的台式涂层系统,特别适用于扫描电子显微镜成像中非导电样品的高质量涂层。样品的干燥和清洁是离子溅射涂层的基本要求。如有必要,应在交换样品和阴极的位置通过火花放电清洁样品表面,然后在溅射涂层之前恢复样品。铁、镍、铜和铅常用作仪器的阴极材料。有时,电硬金、铂、钯、铟和其他金属也可以用作阴极材料。
       

      全自动离子溅射仪

        

        全自动离子溅射仪的使用说明:
       
        1、一般来说,工作距离是可调节的。距离越近,溅射速度越快,但热损伤会增加。
       
        2、通过控制真空压力来实现离子电流的大小。真空度越低,I越大,溅射速度越快,原子晶粒越粗,电子轰击样品(阳极)产生的热量越高;真空度越高,I越小,溅射速度越慢,原子晶粒越小,电子轰击样品产生的热量也小。
       
        3、加速电压固定可调。加速电压越高,样品的热损伤越大。通常使用金属靶的比例面积。
       
        4、一些热敏样品需要在样品区冷却、水冷或珀尔帖冷却;磁控器件也可以像电磁透镜一样用于偏转样品中的电子。当然,在这种转型之后,它将增加非常高的成本。你可以在蜡表面溅上一层金属而不会造成任何损坏。
       
        5、真空中的杂质越多,涂层质量越差。通常,金相对稳定,空气可以用作等离子体气体源,而许多其他靶需要惰性气体。
       
        6、气体的原子序数越高,动量越大,溅射速度越快,但颗粒会更厚,连续膜会更厚。
       
        7、保持真空室的清洁对高质量的涂层非常有益。
       
        8、不要让机械真空泵长时间保持极限真空,否则容易倒油。