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一文读懂小型真空等离子清洗机的操作步骤

  • 更新日期:2024-02-20     浏览次数:317
    •   小型真空等离子清洗机使用等离子进行清洗,可以达到传统清洗无法达到的水平。与激光清洗的直接光不同,等离子体的指向性不强,这使其能够穿透表面的微孔和凹陷。高精度的时间和功率控制不会损坏基板表面并确保表面质量。具有去除能力强、非接触清洗、操作简单、无二次污染等优点。
       

      小型真空等离子清洗机

       

        小型真空等离子清洗机的操作步骤如下:
       
        (1)打开电源,打开开关并按照说明进行操作。首先,检查与等离子清洗机相连的氮气瓶和氧气瓶连接是否正常,气体是否充足。拧松氮气气源主阀,将减压阀的压力调节至0.4巴左右,打开气源开关;
       
        (2)将要清洁的材料放在架子上。如果材料的尺寸太小,先把它们放在托盘上,然后放在架子上。关闭舱门。
       
        (3)按控制面板上的“ENTER”键进入调整,并选择所需的进气口、功率和时间。
       
        (4)选择后,按“开始”开始。在近真空室中,射频电源使气体在高压下发光,产生高能等离子体,轰击材料表面,达到清洁效果。5%氩气+95%氮气的组合发出粉红色的光芒。
       
        (5)之后,在打开舱门之前,等待外部气体充满机舱。如果车厢内没有充满气体,不要强行打开车门。打开腔室,取出清洁的样品;再次放置样品进行清洁。为了清洁每个样品,一次放置的样品数量不应太多。
       
        (6)清洗完所有样品后,关闭所有气源开关和主阀,并关闭等离子清洗机房门。