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操作离子溅射仪时需要注意哪些问题?

  • 更新日期:2022-11-22     浏览次数:642
    •   离子溅射仪在样品制备过程中为SEM用户提供了更广泛的选择,以满足支撑扫描电子显微镜所需的涂层要求。在结构设计和人机界面方面,更加注重人性、简洁和智能。同时,通过智能人机界面,控制仪器简单方便。同时,它可以实时估计涂层厚度,显示真空度和溅射电流。

      离子溅射仪

       

        离子溅射仪的操作注意事项:
       
        1、一般来说,操作距离可以调整。距离越近,溅射速度越快,但热损伤越大。
       
        2、在真空压力下,离子流速越大,溅射速度越快,电子轰击样品产生的热量越大,产生的热量就越大,所产生的热量也越大,真空度越低,I越小,溅射速度就越慢,原子晶粒越细,电子轰击试样产生的热量就会越小。
       
        3、加速电压固定且可调。加速电压越高,样品的热损失越大。通常使用金属靶的比例范围。
       
        4、一些热敏样品需要冷却、水冷或珀尔帖冷却,或者可以使用磁控制设备像电磁透镜一样从样品中分离电子。当然,经过这种改造后,将增加非常高的成本,但可以溅到蜡表面上的金属层不会造成任何损坏!相比之下,高成本可以带来很多好处。
       
        5、真空中杂质越多,涂层质量越差。一般来说,金是相对稳定的,可以使用空气作为等离子气源,而许多其他靶需要惰性气体。
       
        6、随着气体原子序数的增加,动量增加,溅射速度增加,但晶粒会变厚,连续膜会变厚。
       
        7、真空室的清洁对高质量涂层非常有利。
       
        8、机械真空泵不允许长时间保持真空极限,否则容易倒油。
       
        9、使用离子溅射仪器时,应特别注意以上8点,保护仪器并尽可能延长其使用寿命。