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桌面显影机

简要描述:产品优势
1.全封闭式显影,避免雾气扩散到外部,污染环境。
2.外壳喷塑,耐腐蚀,易清洗。
3.内腔镀特氟龙,光滑,耐腐蚀,易清洗。
4.内置真空过滤器,防止液体吸入真空泵。
5.真空压力可调,压力值实时显示。
6.液体流量可调,回吸可调。

  • 产品型号:DM200-SE
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新日期:2023-01-11
  • 访  问  量:751

产品优势

1.全封闭式显影,避免雾气扩散到外部,污染环境。

2.外壳喷塑,耐腐蚀,易清洗。

3.内腔镀特氟龙,光滑,耐腐蚀,易清洗。

4.内置真空过滤器,防止液体吸入真空泵。

5.真空压力可调,压力值实时显示。

6.液体流量可调,回吸可调。


产品参数

支持wafer尺寸:碎片至200mm(8"圆晶)

1.转速分辨率:±1 RPM

2.旋涂速度:20-3000rpm(空载)

3.旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空载)

4.工艺时间设定: 0-3,000sec/step,时间设置精度: 0.1sec

5.该机型适用于标准3路显影机(1路洗衣液,1路纯水,1路氮气)

6.单步工艺及多步工艺可选,内置100组可编辑程序

7.可根据客户需求定制四管路显影机或更大基片的显影机。


设备配有一路显影和一路水、一路气吹功能,并且喷嘴位置可程控移动,实现自动显影和清洗作业。


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