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控温匀胶机

简要描述:实验室加热型匀胶机。光刻胶等均匀涂布在晶圆上的装置,一种纳米膜喷涂设备。

  • 产品型号:IC5000
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新日期:2024-04-11
  • 访  问  量:905

产品参数:
1.转盘加热控温范围:室温-150℃
2.温度分辨率:0.1℃
3.控温精度:<±0.5℃(稳定后控温精度)
4.转盘温度均匀性:<±2%
5.转速范围:100-5000rpm
6.转速分辨率:±1rpm
7.加速度可调范围:100-5000rpm/s
8.最大单步旋涂时长:3000s
9.时间分辨率:0.1s
10.最多可编程100组100步程序,更多可扩展
11.标配可调卡爪载物盘(10-30mm方片或圆片可调),其他规格可定制
12.外型尺寸:280mm(W)*404mm(D)*270mm(H)


IC5000控温匀胶机是一款高性能实验室匀胶机,采用了先进的设计理念,配合精密的运动控制系统,可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作,并配有控温系统,控温均匀性好,可实现边加热边匀胶功能,操作界面可存贮10组程序,每组程序可达10步。运行参数如转速、转动时间可实时显示。


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