您现在的位置:首页 > 新闻中心 > 磁控溅射仪的操作步骤有哪些?

磁控溅射仪的操作步骤有哪些?

  • 更新日期:2024-02-20     浏览次数:58
    •   磁控溅射仪的操作步骤主要包括以下步骤:
       
        1.安装样品:将需要溅射的基底放在样品板上,并确保基底平整、牢固。然后调整基底的位置,使靶材正对基底,并保持适当的距离。
       
        2.开机准备:打开磁控溅射仪的电源开关,开启冷却循环水,打开空气阀和放气阀,确保气路畅通。同时检查各部件是否正常,确认无误后进行下一步操作。
       
        3.抽真空:开启机械泵和分子泵,逐渐降低反应室的真空度。当真空度达到一定值时,可以打开样品室的挡板,放入样品。
       
        4.充气与清洗:向反应室内充入适量的氩气,以提高溅射效率。同时,通过调整氩气流和分子泵的阀门,使进气流和出气流达到平衡,并使腔内氩气气压保持在恒定的值。清洗过程可以提高溅射速率和薄膜质量。
        磁控溅射仪
        5.预溅射:在正式溅射前,需要进行预溅射以去除靶材表面的杂质和氧化物。预溅射完成后,将样品板转至靶材正上方,或者打开样品板自动旋转模式,开始正式溅射。
       
        6.溅射镀膜:调整工作气压、功率等参数,使溅射速率和镀膜厚度符合要求。在溅射过程中,需要不断观察镀膜的外观和厚度,及时调整参数以保证镀膜质量。
       
        7.关闭设备:溅射完成后,先关闭靶材电源,停止溅射。然后关闭磁控溅射仪的电源开关和总电源,关闭冷却水和气瓶进气手阀。最后等待反应室温度降至室温后,关闭机械泵和分子泵。
       
        8.取出样品:打开样品室的门,取出溅射完成的样品。注意轻拿轻放,避免样品受到损伤。
       
        以上是磁控溅射仪的基本操作步骤,实际操作中可能需要根据具体情况进行调整。同时,操作过程中需要注意安全事项,如穿戴防护眼镜、手套等,避免受伤。