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全自动离子溅射仪的常见故障及其解决方法

  • 更新日期:2023-02-28     浏览次数:632
    •   全自动离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料,氧气为离子溅射仪常用的反应气体。
       

      全自动离子溅射仪

       

        全自动离子溅射仪的常见故障及其解决方法:
       
        1、当出现检测器失效时如何解决
       
        检测器失效时的原因有4种:
       
        ①检测器的插头与主机板座松了;
       
        ②检测器本身坏了;
       
        ③阀芯上的固定螺钉与电机转动轴未紧固到位;
       
        ④阀芯本身太紧不能转动。检查的顺序依次为③-①-④-②。
       
        2、吸样不畅的原因及处理方法:
       
        吸样不畅的原因主要有以下4种,沿着"由简单到复杂"的思路来检查;
       
        ①检查管路各个接口(包括电之间的连管、电与阀之间、电与泵管之间)的连管有无漏气,此种现象表现为不吸样;
       
        ②检查泵管是否粘连或过于疲劳,此时应更换新泵管。现象表现为泵管发出异常声音;
       
        ③各管道内尤其是各接头处有蛋白沉淀,此种现象表现为液速度过程定位不稳,即使换了新泵管也是样,解决办法为取下各接头用水清洗干净;
       
        ④阀本身有问题,要仔细地检查。