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喷金仪-百科知识

  • 更新日期:2023-04-13     浏览次数:877
    •   喷金仪是在封闭腔室中,放置阳极靶材,充入气体,保持一定的真空度,在阳极和阴极之间加载高压,会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散,并在样品上沉积,最终在样品表面形成一个均匀的镀层。这个镀层可以抑制荷电,减小热损伤,提高二次电子产率,从而改善扫描电镜观察效果。
       
        喷金仪的功能特点:
       
        1、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。
       
        2、操作容易快捷,控制的参数包括放气以及氩气换气控制。
       
        3、可用MTM-10高分辨膜厚控制仪(选件)精确测定所镀膜的厚度。
       
        4、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。
       
        5、可使用多种金属靶材:Au,Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。
       
        喷金仪选择合适的气体以及靶材,就可以用来为扫描电镜的样品镀层。对样品表面溅射金属镀层有以下好处:
       
        (1)减少电子束对样品的损伤。
       
        (2)提高导热性能。
       
        (3)减少样品荷电(提高导电性)。
       
        (4)提高二次电子产率。
       
        (5)减小电子束穿透效应,提高边缘分辨率。
       
        (6)保护电子束敏感样品。
       
        然而,为了获得更细小的晶粒尺寸、更薄的连续镀层,有时候也会使用其他靶材(比如铬)。这些靶材对真空度的要求更高,需要额外配置分子泵方可达到要求。