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改善实验室喷金仪效果,需要哪些技巧?

  • 更新日期:2022-10-13     浏览次数:491
    •    实验室喷金仪是什么?
        在封闭腔室中,放置阳极靶材,充入气体,保持一定的真空度,在阳极和阴极之间加载高压,会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散,并在样品上沉积,最终在样品表面形成一个均匀的镀层。这个镀层可以抑制荷电,减小热损伤,提高二次电子产率,从而改善扫描电镜观察效果。
        实验室喷金仪适用于扫描电子显微镜样品镀膜导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样仪器。同时广泛应用于电极的制作。
        改善实验室喷金仪喷金效果的几个技巧
        1.腔室一定要保持干净!如果可以的话,不要在喷金仪的腔室中进行蒸碳操作,最好用另一台设备进行蒸碳。(防止蒸碳污染溅射仪腔室)。
        2.可以用热肥皂水定期清洁腔室,并充分干燥。不建议使用试剂,这可能会影响健康安全。如果沉积物太顽固,可以考虑使用厨房百洁布。
        3.可以使用异丙醇清洗金属表面。但不要用丙酮,它不仅会影响健康安全,而且更难回姂干净,会影响真空性能。
        4.千万不要在没有隔断真空泵的情况下,让溅射腔长时间处于真空状态。通常情况下,手动操作阀门可以隔断真空泵与腔室。如果没有阀门隔断,隔膜泵的泵油可能会回流,污染溅射腔室。
        5.确保设备干燥。开始溅射前,设备要抽到要求的真空度。否则,会明显影响溅射响效率,并带来污染。
        6.把机械泵固定在一个牢固的基台上。并记得定期维护机械泵。
        7.溅射气体:请使用高纯氩气(>99.999%),这可以确保更快的溅射速率和更短的抽气时间。
        8.如果想在表面不规则的样品上获得均匀的溅射镀层,最好使用行星式旋转样品台。