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关于离子溅射仪的操作使用,快来了解一下吧!

  • 更新日期:2022-10-18      浏览次数:438
    •    离子溅射仪是一种紧凑的台式镀膜系统,特别适用于扫描电子显微镜成像中非导电样品的高质量镀膜。样品的干燥和清洗是离子溅射镀膜的基本要求。如有必要,应在交换样品和阴极位置用火花放电清洁样品表面,然后在溅射涂层之前恢复样品。铁、镍、铜和铅是离子溅射仪器常用的阴极材料。有时,电硬金、铂、钯、铟和其他金属也可用作阴极材料。氧通常用作离子溅射仪器的反应气体。
        
        离子溅射仪的操作说明:
        
        1、一般来说,工作距离是可调的。距离越近,溅射速度越快,但热损伤会增加。
        
        2、通过控制真空压力来实现离子电流的大小。真空度越低,I值越大,溅射速度越快,原子晶粒越粗,样品(阳极)电子轰击产生的热量越高;真空度越高,I越小,溅射速度越慢,原子晶粒越小,电子轰击样品产生的热量也较小。
        
        3、加速电压固定可调。加速电压越高,样品的热损伤越大。通常使用金属靶的比例面积。
        
        4、对于一些热敏样品,样品区域需要冷却、水冷或珀尔贴冷却;磁控装置也可用于像电磁透镜一样使电子从样品中偏转。当然,在这种转变之后,它将增加非常高的成本。你可以在蜡面上溅一层金属而不会造成任何损坏!
        
        5、真空中杂质越多,涂层质量越差。一般来说,金相对稳定,空气可以用作等离子体气源,而许多其他靶需要惰性气体。
        
        6、气体的原子序数越高,动量越大,溅射速度越快,但晶粒越厚,连续薄膜越厚。
        
        7、保持真空室清洁有利于高质量涂层。
        
        8、不要让机械真空泵长时间保持真空,否则很容易倒油。